1、這次加的真空泵油的牌號(hào)和原先的不一樣。不同的真空泵油牌號(hào)，由于不同牌號(hào)油內(nèi)的飽和蒸汽壓不一樣，所以其的結(jié)果是不一樣的。解決之道：根據(jù)產(chǎn)品的型號(hào)規(guī)格更換正確的新真空泵油。
2、另外也是由于真空泵油造成的真空度低的情況，就是真空泵油乳化變色，或者過臟。解決之道：放干凈泵內(nèi)的所有真空泵油，水環(huán)式真空泵，更換同類型的真空泵油，SKA水環(huán)真空泵，并解決被抽氣體中水蒸氣和雜質(zhì)不進(jìn)入泵內(nèi)。
3、被抽氣體的溫度可能過高。解決之道：降低被抽氣體的溫度，或可以加一個(gè)相應(yīng)的換熱器。
4、泵內(nèi)的油路不通或者不暢，泵腔內(nèi)沒有保持一定量的油量。解決之道：檢查油路是否暢通，并加同類型的真空泵油。
5、配合的間隙改大。這是長期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等，造成旋片和定子之間磨損后的間隙增大。解決之道：檢查間隙是否過大，更換新的零部件。
由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，單級(jí)旋片式真空泵，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，無油真空泵，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來使用。
旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下：在入口壓強(qiáng)為1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%.
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